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常用光交聯型光刻膠/光聚合型/光分解型三種類型
文章來源 : 齊岳生物
作者:zhn
發布時間 : 2022-08-23 12:41:44
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產品名稱:常用光交聯型光刻膠/光聚合型/光分解型三種類型
產品描述:
常用光交聯型光刻膠/光聚合型/光分解型三種類型 ? ? ??西安齊岳生物主要業務面向國內科研院所和高校、以及科技創中小企業,幫助客戶實現較度取得較量的科研和生產用耗材。公司目前經營的產品有委托加工、設備、硅片、襯底、光刻膠、度試劑、凈耗材、貨源,響應速度快,國內外貨源充實。 ? 型號 光源 類型 分辨率 厚度(um) 適用范圍 SU-8 GM10xx系列 g/h/i-Line 負性 0.1um 0.1-200 具有較大的高寬比,透明度高,垂直度。 SU-8 Microchem g/h/i-Line 負性 0.5um 0.5-650 具有較大的高寬比,透明度高,垂直度。 ? g/h/i-Line 正性 1um 1—30 可用于選擇性電鍍電鍍,深硅刻蝕等工藝。 NR26-25000P g/h/i-Line 負性 ? 20-130 厚度大,相對容易去膠。 型號 光源 類型 分辨率 厚度(um) 適用范圍 SU-8 GM1010 電子束 負性 100nm 0.1-0.2 可用于做高寬比較大的納米結構。 HSQ 電子束 負性 6nm 30nm~180nm 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕。 XR-1541-002/004/006 HSQ Fox-15/16 電子束 負性 100nm 350nm~810nm 分辨率較好的光刻膠,抗刻蝕。 PMMA(國產) 電子束 正性 \ \ 高分辨率,適用于電子束光刻工藝,較常用的電子束光刻正膠。 PMMA() 電子束 正性 \ \ MicroChem,分子量,適用于電子束光刻工藝,較常用的電子束光刻正膠。 型號 光源 類型 分辨率 厚度(um) 適用范圍 S18xx系列 g-Line 正性 0.5um 0.4-3.5 較常用的薄光刻膠,分辨率高,穩定。 SPR955系列 i-Line 正性 0.35um 0.7-1.6 高分辨率(0.35um)光刻膠,穩定。 BCI-3511 i-Line 正性 0.35um 0.5-2 國產0.35um光刻膠,已經在量產單位規模使用。 NRD6015 248nm 負性 0.2um 0.7-1.3 國產深紫外光刻膠,已經在量產單位規模使用。 型號 光源 類型 分辨率 厚度(μm) 適用范圍 KXN5735-LO g/h/i-Line 負性 4μm 2.2-5.2 負性光刻膠;倒角65-80°,使用普通正膠顯影液顯影。 LOL2000/3000 g/h/i-Line / NA 130nm-300nm 非感光性樹脂,可以被顯影液溶解,作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用。 ROL-7133 g/h/i-Line / 4um 2.8-4 負性光刻膠,倒角75~80°,使用普通正膠顯影液。 品名 主要成分 包裝 應用 / / 正膠顯影液 TMAH 2.38% 4LR/PC 正膠顯影液 / / 正膠稀釋劑 PGMEA 4LR/PC 稀釋劑 / / SU8 顯影液 PGMEA 4L/PC 顯影SU8光刻膠 / / RD-HMDS HMDS 500ml/PC 增粘劑 / / OMNICOAT 見MSDS 500ml/PC SU-8增粘劑 / / ? ? ? ? ? 光刻膠是光刻成像的承載介質,其作用是利用光化學反應的原理將光刻系統中經過衍射、濾波后的光信息轉化為化學能量,進而完成掩模圖形的復制。目前,集成電路生產中使用的光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產生劑或光敏化合物、溶劑,以及顯影保護基團、刻蝕保護基團等其他輔助成分組成 。光刻膠是微電子中微細圖形加工的關鍵材料之一,是近年來大規模和大規模集成電路的發展,更是大大了光刻膠的研究研究和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。1954 年由明斯克等人研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯是用于印刷工業的,以后才用于電子工業。 ? ? ? 光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。 ?光刻膠的復雜,品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理,可分負性膠和正性膠兩類。 光照后形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,經光照后變成可溶物質的即為正性膠?。利用這種性能,將光刻膠作涂層,能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。基于感光樹脂的化學結構,光刻膠可以分為三種類型。 光聚合型 采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合,生成聚合物,具有形成正像的特點。 光分解型 采用含有疊氮醌類化合物的材料,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性,可以制成正性膠。 光交聯型 采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發生交聯,形成一種不溶性的網狀結構,而起到抗蝕作用,這是一種的負性光刻膠。 ? 光刻膠材料制備壁壘高 光刻膠所屬的微電子化學品是電子行業與化工行業交叉的領域,是的密集行業。從事微電子化學品業務需要具備與電子產業前沿發展相匹配的關鍵生產,如混配、分離、純化以及與生產過程相配套的分析檢驗、環境處理與監測等。同時,下游電子產業多樣化的使用場景要求微電子化學品生產企業有較強的配套能力,以及時和改進產品工藝來滿足客戶的需求。 光刻膠的生產工藝主要過程是將感光材料、樹脂、溶劑等主要原料在恒溫恒濕 1000 級的黃光區潔凈房進行混合,在氮氣氣體保護下充分攪拌,使其充分混合形成均相液體,經過多次過濾,并通過中間過程控制和檢驗,使其工藝和質量要求,后做產品檢驗,合格后在氮氣氣體保護下包裝、打標、入庫。 ? 光刻膠的生產工藝簡要流程 光刻膠的壁壘包括配方,質量控制和原材料。配方是光刻膠實現功能的,質量控制能夠光刻膠性能的穩定性而的原材料則是光刻膠性能的基礎。 ? 配方:由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商,不同的客戶會有不同的應用需求,同一個客戶也有不同的光刻應用需求。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行10-50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。針對以上不同的應用需求,光刻膠的品種多,這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現。因此,通過調整光刻膠的配方,滿足差異化的應用需求,是光刻膠制造商的。 ? 質量控制:由于用戶對光刻膠的穩定性、一致性要求高,包括不同批次間的一致性,通常希望對感光靈敏度、膜厚的一致性保持在較高水平,因此,光刻膠生產商不要配臵的測試儀器,還需要建立一套嚴格的QA體系以產品的。 ? 原材料:光刻膠是一種經過嚴格設計的復雜、的配方產品,由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等不同-性質的原料,通過不同的排列組合,經過復雜、的加工工藝而制成。因此,光刻膠原材料的品質對光刻膠的質量起著關鍵作用。對于半導體化學化學試劑的純度,際半導體設備和材料(SEMI)制定了統一標準 產品供應: 產品名稱 cas 1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2 1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8 丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3 4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2 1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9 2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9 2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3 1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9 2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7 甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7 2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4 2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7 gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2 N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6 (9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1 (5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9 1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1 1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4 2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0 n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1 2-乙烯基萘 827-54-3 2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9 丙烯酸甲基環戊酯 178889-49-1 丙烯酸1-乙基環戊酯 326925-69-3 2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2 4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7 acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0 1-甲基環己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7 2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8 1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7 1-乙基環己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8 4-異丙基苯酚 4286-23-1 (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5 乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1 2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6 甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 15895-80-4 oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7 3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8 2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷 2653-39-6 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3 2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷 123455-94-7 二苯基酰氯 1483-72-3 雙[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2 雙(4-叔丁基苯基)氯鎓 5421-53-4 TBPDPS-PFBS 258872-05-8 1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4 (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0 N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7 六氟二酐(6FDA) 1107-00-2 9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA) 127926-65-2 9,9-雙(4-氨基苯基)芴 (FDA) 15499-84-0 4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯苯 (M-Tolidine) 84-67-3 2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基) 六氟丙烷 83558-87-6 1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯 (APB) 10526-07-5 4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯苯(BAPB) 13080-85-8 1,3-雙(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1 4,4-二氨基聯苯-2,2-二羧酸 17557-76-5 2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9 ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4 BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9 TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1 BPADA 雙酚A型二醚二酐 38103-06-9 BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5 BPDA 3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐 2420-87-3 CBDA 環丁烷四甲酸二酐 4415-87-6 DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5 TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯苯 341-58-2 A-BPDA 2,3,3',4'-聯苯四甲酸二酐 36978-41-3 BOAFL 9,9-二[(2,3-環氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2 TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9 ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 1823-59-2 A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 50662-95-8 HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8 4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1 3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0 N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9 1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1 3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1 3,6-二溴咔唑 6825-20-3 1-溴咔唑 16807-11-7 2-溴咔唑 3652-90-2 2-氯咔唑 10537-08-3 2-羥基咔唑 86-79-3 3-溴咔唑 1592-95-6 3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2 4-溴-9H-咔唑 3652-89-9 3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6 11,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2 9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8 10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4 9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2 9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0 3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1 3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5 3--9-苯基咔唑 502161-03-7 9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2 3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9 2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4 2-(2-氯-苯基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7 3,3'-聯咔唑 1984-49-2 3,9'-聯咔唑 18628-07-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9 5,11-二氫-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2 5,7-二氫-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5 9-(4'-溴聯苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4 4,4'-二(9-咔唑)聯苯 58328-31-7 5,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2 5,7-二氫-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3 吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5 9H-咔唑-3-硼酸頻哪醇酯 855738-89-5 9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7 14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4 9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7 2,7-二溴咔唑 36630-39-2 2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5 咔唑 86-74-8 9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4 3,6-二咔唑 57103-02-3 3-氰基咔唑 57102-93-9 9,9'-二([1,1'-聯苯]-4-基)-3,3'-聯-9H-咔唑 57102-51-9 3-氯咔唑 2732-25-4 N-(3-聯苯基)-N-(4-聯苯基)-3,3-雙咔唑 1643479-47-3 5,7-二氫-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1 9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9 3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7 9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9 9-乙烯卡唑 1484-13-5 4-硼酸三苯胺 201802-67-7 二苯并噻吩-4-硼酸 108847-20-7 (3,5-二苯基苯)硼酸 128388-54-5 3-溴苯硼酸 89598-96-9 苯硼酸 98-80-6 2-硝基苯基硼酸 5570-19-4 2-氟苯硼酸 1993/3/9 4-甲苯硼酸 5720/5/8 2,4-二氟苯硼酸 144025-03-6 4-氟苯硼酸 1765-93-1 2-氯-苯基硼酸 3900-89-8 3-氯苯硼酸 63503-60-6 2-聯苯硼酸 4688-76-0 3-聯苯硼酸 5122-95-2 4-聯苯硼酸 5122-94-1 1-萘硼酸 13922-41-3 2-萘硼酸 32316-92-0 9-蒽硼酸 100622-34-2 熒蒽-3-硼酸 359012-63-8 9-菲硼酸 68572-87-2 4-(1-萘基)苯硼酸 870774-25-7 4-(2-萘基)苯硼酸 918655-03-5 苯并菲-2-硼酸 654664-63-8 1-芘硼酸 164461-18-1 (10-苯基蒽-9-基)硼酸 334658-75-2 [10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸 400607-46-7 B-(10-[1,1'-聯苯]-4-基-9-蒽基)硼酸 400607-47-8 9,9-二甲基芴-2-硼酸 333432-28-3 9,10-雙(2-萘基)蒽-2-硼酸 867044-28-8 10-(2-萘基)蒽-9-硼酸 597554-03-5 9,9-二甲基-2,7-芴二硼酸 866100-14-3 B-9,9'-螺二芴-2'-基硼酸 236389-21-2 B-[3-(4-二苯并噻吩基)苯基]硼酸 1307859-67-1 B,B'-2,8-二苯并呋喃二基二硼酸 1222008-13-0 吡啶-3-硼酸 1692-25-7 喹啉-3-硼酸 191162-39-7 喹啉-8-硼酸 86-58-8 9H-咔唑-1-基硼酸 869642-36-4 二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2 9-苯基咔唑-2-硼酸 1001911-63-2 (9-苯基-9H-咔唑-3-基)硼酸 854952-58-2 4-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 419536-33-7 3-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 864377-33-3 B-[2-(9H-咔唑-9-基)苯基]硼酸 1189047-28-6 二苯并呋喃-4-硼酸 100124-06-9 B-2-二苯并噻吩基硼酸 668983-97-9 聯硼酸新戊二醇酯 201733-56-4 聯硼酸頻那醇酯 73183-34-3 二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2 4-溴苯硼酸 5467-74-3 4-氯苯硼酸 1679-18-1 硼酸三異丙酯 5419-55-6 3-(2-三亞苯基苯硼酸)頻哪醇酯 1115639-92-3 3-甲氧基-2-萘硼酸 104115-76-6 Benzofuran-2-boronic acid CAS 98437-24-2 2,4-Dichlorophenylboronic acid CAS 68716-47-2 [3-(3-Pyridinyl)phenyl]boronic acid CAS 351422-72-5 9-(3-bromophenyl)-9-phenyl-9H-fluorene 1257251-75-4 B-[4-(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯基]-硼酸 952514-79-3 [4-(2-苯基-1H-苯并咪唑-1-基)苯基]硼酸 867044-33-5 四氟硼酸銀 14104-20-2 三亞苯-2-基)硼酸頻哪醇酯 890042-13-4 9,9-螺二芴-2-硼酸頻哪醇酯 884336-44-1 3-氟-2-甲酰基苯硼酸 871126-15-7 5-氯-2-甲酰基苯硼酸 870238-36-1 B-(10-[1,1'-聯苯]-2-基-9-蒽基)硼酸 400607-48-9 4-(3-吡啶基)苯硼酸 170230-28-1 2-氯-4-(聯苯-3-基)-6-苯基-1,3,5-三嗪 1689576-03-1 4-硼酸三苯胺 201802-67-7 9-菲硼酸新戊二醇酯 1416371-19-1 3,5-二甲基苯硼酸 172975-69-8 二苯并[b,d]呋喃-3-硼酸 395087-89-5 ? 本公司產品用于科研,不用于人體。 以上資料西安齊岳生物科技有限公司提供 wyf 01.26 相關目錄: MACS磁珠分選基本原理(圖文釋義) 半導體光刻膠/LCD 光刻膠/PCB 光刻膠-聯系我們:
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公司介紹:
西安齊岳生物科技有限公司是集化學科研和定制與一體的高科技化學公司。業務范圍包括化學試劑和產品的研發、生產、銷售等。涉及產品為通用試劑的分銷、非通用試劑的定制與研發,涵蓋生物科技、化學品、中間體和化工材料等領域。
主營產品:COF、MOF單體系列:三蝶烯衍生物、金剛烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上轉換、石墨烯、光電材料、點擊化學、凝集素、載玻片、蛋白質交聯劑、脂質體、蛋白、多肽、氨基酸、糖化學等。
免責聲明:本產品只可用于科研,不能用于人體,如不遵守,產生任何后果與本公司無關!
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